微電子產(chǎn)業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)的對(duì)象為晶圓（Wafer），晶圓在無(wú)塵工廠（Fab）里被制造（Fabrication）出來(lái)，再進(jìn)行封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)；這些生產(chǎn)過(guò)程對(duì)工廠空間環(huán)境要求相當(dāng)嚴(yán)格，環(huán)境溫度、濕度、風(fēng)速、空氣微塵含量、靜電、光照等都會(huì)影響晶圓的良率Yield）；因此，需要一個(gè)特殊的生產(chǎn)環(huán)境，即無(wú)塵潔凈室（Clean Room），又稱為無(wú)塵室、潔凈室或無(wú)塵車(chē)間。

潔凈室的分類(lèi)方法眾多，根據(jù)研究對(duì)象的不同可以分為工業(yè)級(jí)和生物級(jí)兩大類(lèi)。工業(yè)級(jí)主要用于微電子、航空航天、核工業(yè)等高科技行業(yè)，一般對(duì)空氣中懸浮粒子粒徑和濃度進(jìn)行控制；生物級(jí)主要用于生物病原體研究、醫(yī)學(xué)疫苗生產(chǎn)等，主要控制對(duì)象為醫(yī)學(xué)微生物 。

潔凈室對(duì)室內(nèi)環(huán)境要求極高，需要對(duì)室內(nèi)流動(dòng)空氣懸浮粒子濃度進(jìn)行嚴(yán)格控制，在潔凈室的使用過(guò)程中應(yīng)減少對(duì)室內(nèi)空氣懸浮粒子的引入、產(chǎn)生及滯留，這需要對(duì)潔凈室進(jìn)行定期清潔、保養(yǎng)、檢測(cè)；并對(duì)室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如潔凈度、室溫、濕度、靜電、氣壓等按要求進(jìn)行控制；不論潔凈室外界環(huán)境如何變化，潔凈室內(nèi)均能維持恒定的室內(nèi)環(huán)境參數(shù)性能，以滿足科研、生產(chǎn)使用需求 。